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硅基纳米多孔氧化铝湿度传感器：性能、制备与应用的深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技与生活中，湿度作为一个关键的环境参数，对众多领域产生着深远影响。从工业生产到农业种植，从医疗健康到日常生活，湿度的精确监测与控制都至关重要。湿度传感器作为检测湿度的关键设备，其性能的优劣直接关系到各领域的生产效率、产品质量以及人们的生活质量。

在工业生产领域，如电子制造、化工、食品加工等行业，湿度对产品质量和生产工艺有着显著影响。在电子芯片制造过程中，过高的湿度可能导致芯片表面出现水汽凝结，引发短路或腐蚀等问题，严重影响芯片的性能和可靠性。在化工生产中，湿度会影响化学反应的速率和产物的纯度，