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高温烧结Cr2O3涂层对Al2O3陶瓷真空沿面耐压性能的作用研究.docxVIP

高温烧结Cr2O3涂层对Al2O3陶瓷真空沿面耐压性能的作用研究.docx

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    高温烧结Cr2O3涂层对Al2O3陶瓷真空沿面耐压性能的作用研究

    目录

    高温烧结Cr2O3涂层对Al2O3陶瓷真空沿面耐压性能的作用研究（1）

    一、内容综述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

    研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

    1.1背景介绍．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

    1.2研究目的与重要性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

    文献综述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

    2.1国内外研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8

    2.2研究领域存在的问题与挑战．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

    二、实验材料与方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11

    实验材料．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

    1.1Al2O3陶瓷基材．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

    1.2Cr2O3涂层材料．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14

    1.3其他辅助材料．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14

    实验方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17

    2.1高温烧结工艺．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19

    2.2真空沿面耐压性能测试方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20

    2.3实验设计与参数设置．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21

    三、高温烧结Cr2O3涂层的制备与表征．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22

    制备过程．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23

    1.1涂层的制备工艺流程．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24

    1.2高温烧结条件的选择与优化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．26

    涂层的表征．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．39

    2.1涂层形貌分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．40

    2.2涂层结构与性能表征．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42

    四、真空沿面耐压性能研究．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．43

    实验结果与分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．44

    1.1不同条件下真空沿面耐压性能的实验结果．．．．．．．．．．．．．．．．．．44

    1.2性能差异的原因分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．46

    涂层的优化作用探讨．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．47

    五、高温烧结Cr2O3涂层对Al2O3陶瓷真空沿面耐压性能的作用机理分析

    高温烧结Cr2O3涂层对Al2O3陶瓷真空沿面耐压性能的作用研究（2）

    一、内容概览．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．49

    1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．49

    1.2国内外研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．50

    1.3研究内容与目标．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．52

    二、高温烧结Cr2O3涂层的制备．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．53

    2.1涂层材料选择与制备方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．54

    2.2涂层工艺参数优化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．55

    2.3涂层结构分析．．．．．．．．．．．

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