《多晶硅制造装置基于风险的评价与检验技术规范》.pdfVIP

ICS71.020

CCSJ74

63

青海省地方标准

DBXX/TXXXX—XXXX

多晶硅制造装置基于风险的评价与检验技

术规范

点击此处添加标准名称的英文译名

（征求意见稿）

（本草案完成时间：年月日）

202334

在提交反馈意见时，请将您知道的相关专利连同支持性文件一并附上。

XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施

青海省市场监督管理局  发布

DBXX/TXXXX—XXXX

目次

前言II

1范围3

2规范性引用文件3

3术语和定义3

4装置损伤分布3

5关键设备主要损伤及部位6

6基于风险的检验方法7

7风险评估质量的审核10

附录A（资料性）多晶硅制造装置损伤流程分布图11

附录B（资料性）多晶硅制造装置风险评估质量审核15

I

DBXX/TXXXX—XXXX

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

本文件由中国特种设备检测研究院提出。

本文件由青海省市场监督管理局归口。

本文件起草单位：中国特种设备检测研究院、华北科技学院、青海中特检特种设备检测有限公司、

内蒙古自治区特种设备检验研究院、北京化工大学、西安交通大学、宁波市特种设备检验研究院、江苏

省特种设备安全监督检验研究院、榆林市特种设备检验检测院、武汉左晟检测技术有限公司、上海歌略

软件科技有限公司

本文件主要起草人：路笃辉、王目凯、丛广佩、李兵、侯令玮、李恒、李翔、杨硕、王伟华、张峰、

赵奕为、高东、徐业银、赵盈国、励凯宏、马殿国、杨白冰、宋策、赵梦曦、王强、丁彦龙、赵毅、李

修能、奚春洪

本文件由青海省市场监督管理局监督实施。

II

DBXX/TXXXX—XXXX

多晶硅制造装置基于风险的评价与检验技术规范

1范围

本文件规定了多晶硅制造装置基于风险的评价与检验的术语和定义、装置损伤分布、关键设备主要

损伤及部位、基于风险的检验方法和风险评估质量的审核等内容。

本文件适用于多晶硅制造装置基于风险的评价与检验。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T2