超精密起升机构.pdf

摘要

超精密加工是上世纪中叶为了适应大规模的集成电路以及核能航天还有激光等一系列尖端技术而

发展出来的一种超高精度的加工技术。与传统技术相比，超精密加工技术至少提高了一个数量级的精

度。即加工精度控制在微米级，加工表面粗糙度控制在纳米级的一种先进技术。因为传统的加工技术

主要由普通电机以及滚动丝杆传动来作为定位工作台，整个过程中存在着传统环节多传动效率低、摩

擦损耗大以及响应滞后等一系列的问题，因此基于这些问题，创新性的发展出了以静压导轨以及直线

电机为驱动的超精密加工

超精密加工是获得高精度加工形状产品的必要方式与手段，而其中超精密加工的垂直运动机构是

其中的核心