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精密薄膜电阻材料的技术进展与未来趋势探索
目录
内容描述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4
1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4
1.1.1电阻材料的重要性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5
1.1.2薄膜技术在电阻材料中的应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7
1.2研究目标与内容概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9
1.2.1研究目的．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12
1.2.2主要研究内容．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12
文献综述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13
2.1国内外研究现状分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15
2.1.1国外研究进展．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17
2.1.2国内研究进展．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18
2.2相关理论和技术基础．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19
2.2.1电阻材料的基本理论．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21
2.2.2薄膜技术基础．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22
精密薄膜电阻材料的分类与特性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23
3.1按制备工艺分类．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25
3.1.1蒸发沉积法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．27
3.1.2溅射沉积法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29
3.1.3化学气相沉积法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．30
3.2按材料组成分类．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．31
3.2.1金属薄膜电阻材料．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．32
3.2.2半导体薄膜电阻材料．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．33
3.2.3碳基薄膜电阻材料．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．35
3.3按应用功能分类．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．37
3.3.1高频应用的电阻材料．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．38
3.3.2低功耗应用的电阻材料．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．39
3.3.3特殊环境下的应用电阻材料．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．41
精密薄膜电阻材料的技术进展．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．45
4.1制备技术的优化与创新．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．46
4.1.1高纯度薄膜制备技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．47
4.1.2快速冷却技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．49
4.1.3纳米结构控制技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．50
4.2性能测试与表征方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．51
4.2.1电阻率测试方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．53
4.2.2电学性能表征技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．54
4.2.3微观结构表征技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．57
4.3应用领域扩展．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．58
4.3.1微电子领域应用．．．．．．．．．．
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