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数据表
8741 型
气体质量流量控制器 (MFC)/气体质量流量计 (MFM)
•额定流量范围0.010l/min至160l/min
•高精度和高重复性
•极快的响应时间
•通过配置记忆卡简化设备的更换工作
•可选：USPVI
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