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飞秒激光直写BK7玻璃波导与定向耦合器的制备及性能研究
一、引言
1.1研究背景与意义
随着光电子技术的飞速发展,对高性能光器件的需求日益增长。飞秒激光直写技术作为一种先进的微加工技术,凭借其独特的优势在光电子领域展现出重要的应用价值。飞秒激光具有极短的脉冲宽度(飞秒量级,1飞秒=10^{-15}秒)和极高的峰值功率,能够在材料中实现高度局域化的能量沉积,从而诱导材料发生物理和化学变化,这为微纳结构的精确加工提供了可能。在众多的加工技术中,飞秒激光直写技术脱颖而出,它能够在不使用掩模的情况下,直接在材料内部进行三维结构的加工,具有加工精度高、灵活性强、可加工材料种类丰富等优点。这些
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