飞秒激光直写BK7玻璃波导与定向耦合器的制备及性能研究.docx

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2025-04-25 发布于上海
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飞秒激光直写BK7玻璃波导与定向耦合器的制备及性能研究

一、引言

1.1研究背景与意义

随着光电子技术的飞速发展，对高性能光器件的需求日益增长。飞秒激光直写技术作为一种先进的微加工技术，凭借其独特的优势在光电子领域展现出重要的应用价值。飞秒激光具有极短的脉冲宽度（飞秒量级，1飞秒=10^{-15}秒）和极高的峰值功率，能够在材料中实现高度局域化的能量沉积，从而诱导材料发生物理和化学变化，这为微纳结构的精确加工提供了可能。在众多的加工技术中，飞秒激光直写技术脱颖而出，它能够在不使用掩模的情况下，直接在材料内部进行三维结构的加工，具有加工精度高、灵活性强、可加工材料种类丰富等优点。这些