基于深度学习的准分子激光器能量稳定性控制技术：原理、实践与创新.docx

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2025-04-27 发布于上海
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基于深度学习的准分子激光器能量稳定性控制技术：原理、实践与创新

一、引言

1.1研究背景与意义

准分子激光器作为一种重要的激光器件，凭借其短波长、高功率和窄线宽等特性，在众多领域展现出不可替代的作用。在工业领域，它广泛应用于集成电路光刻、OLED显示、微电子封装、光纤光栅制备、微切割以及微钻孔等方面。在集成电路光刻中，准分子激光器的高分辨率和高精度能够满足芯片制造对细微线条刻画的严格要求，直接决定了芯片的性能和集成度；在OLED显示制造中，其精确的加工能力有助于提高显示屏的分辨率和显示效果。在医疗领域，准分子激光器是眼科激光手术的关键设备，常用于近视、远视、散光等屈光不正问题的矫正，